УДК 621.446
Зори А.А., Баев Р.Н.
Оценка показателей экономической эффективности при проектировании прибора
Донецкий национальный технический университет
В докладе, рассмотрена методика оценки показателей экономической эффективности при проектировании прибора измерения и контроля параметров микроклимата при производстве интегральных микросхем. Методика позволяет оценить целесообразность создания разрабатываемого прибора.
Ключевые слова: прибор, оценка, ремонт, поверка, температура, влажность.
A report, the technique of estimates indicators of economic efficiency in the design to the device of measuring and control of microclimate parameters in the production of integrated microcircuits. Methodology allows estimate the feasibility of the developed device.
Key words: device, evaluation, repair, calibration, temperature, humidity.
Введение. При производстве интегральных микросхем (ИМС) одним из основных параметров, влияющих на их качество, является непрерывное поддержание температуры и влажности воздуха в технологическом помещении с высокой точностью.