УДК 621.365
Шрам А. А.
ЗОНДИРОВАНИЕ ПЛАЗМЕННОГО ПОТОКА ЭЛЕКТРОТЕХНИЧЕСКОГО КОМПЛЕКСА ДЛЯ ИОННО-ПЛАЗМЕННОЙ МОДИФИКАЦИИ ПОВЕРХНОСТИ СТЕКЛА
Запорожский национальный технический университет
Запорожье, Жуковского 64, 69063
UDC 621.365
Shram A. A.
PROBING THE PLASMA FLOW ELECTROTECHNICAL COMPLEX FOR ION-PLASMA SURFACE MODIFICATION OF GLASS
Zaporozhye National Technical University
Zaporozhye, Zhukovskogo 64, 69063
В данной работе рассматривается использование зондового метода исследования низкотемпературной плазмы при ионно-плазменной модификации поверхности стекла при атмосферном давлении.
Ключевые слова: электрический зонд, низкотемпературная плазма, вольт-амперная характеристика, стекло.
This paper discusses the use of the probe method for the study of low-temperature plasma ion-plasma modification of the glass surface at atmospheric pressure.
Key words: electric probe, low-temperature plasma, the current-voltage characteristics, the glass.