УДК 621.382:519.688
Горобчук А.Г.
МОДЕЛИРОВАНИЕ ТЕХНОЛОГИИ ПЛАЗМОХИМИЧЕСКОГО ТРАВЛНИЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ МАТЕРИАЛОВ В ВЧ РАЗРЯДЕ
Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт вычислительных технологий Сибирского отделения Российской академии наук
В рамках гидродинамического приближения моделируется технология плазмохимического травления кремниевых образцов в ВЧ-разряде CF4/O2. Показано влияние многокомпонентной плазменной кинетики в неоднородном ВЧ-разряде на производство и массообмен активных частиц в плазмохимическом реакторе травления.
Ключевые слова: плазмохимическое травление, плазмохимические реакторы, многокомпонентные смеси газов, математическое моделирование.