В данной работе рассматриваются результаты исследования адсорбции углеродсодержащих соединений из остаточной газовой фазы сверхвысоковакуумной камеры оже-спектрометра на поверхность индия, стимулированной электронным облучением. Показано, что электронная бомбардировка поверхности индия значительно стимулирует адсорбцию углеродсодержащих соединений из остаточного газа – возрастает скорость адсорбции, с увеличением дозы облучения растет степень покрытия. Обнаружен и исследован эффект образования углеродного покрытия и диффузии через него кислорода с последующим ростом оксидной пленки In2O3 на межфазной границе индий-углеродный слой.
Ключевые слова: электрон, адсорбция, стимуляция, окисление, диссоциация, возбуждение, спектроскопия.
This paper presents the results of a study of adsorption of carbon-containing compounds from the residual gas phase ultra-high vacuum chamber Auger spectrometer on the surface of indium, stimulated by electron irradiation. It is shown that the electron bombardment of the surface of indium significantly stimulates the adsorption of carbon-containing compounds from the residual gas - increases the rate of adsorption with increasing radiation dose increases the degree of coverage. Investigated the effect of formation of carbon coating and diffusion of oxygen through it with subsequent growth of the oxide film at the interface In2O3 indium-carbon layer.
Key words: electron, adsorbtion, stimulation, oxidation, dissociation, excitation, spectroscopy.