УДК 0
Радченко Ирина Николаевна,Кутовой Игорь Станиславович,Мясников Борис Иванович,,,,
ОПРЕДЕЛЕНИЕ КОЭФФИЦИЕНТОВ
РАСПРЕДЕЛЕНИЯ КИСЛОРОДА И
УГЛЕРОДА В РЕАЛЬНЫХ ПРОЦЕССАХ
РОСТА МУЛЬТИКРИСТАЛЛИЧЕСКОГО КРЕМНИЯ
Radchenko I.N., Myasnikov B.I., Kutovoy I.S.
DTERMINATION OF OXYGEN AND CARBON DISTRIBUTION COEFFICIENTS IN ACTUAL PROCESSES OF MC-SI GROWTH
Аннотация. В статье приводятся результаты расчета коэффициентов распределения кислорода и углерода на основе данных, полученных в реальных процессах роста мультикристаллического кремния. Обсуждаются причины различия полученных экспериментальных значений коэффициенто
Ключевые слова: коэффициенты распределения кислорода и углерода в кремнии, мультикристаллический кремний
Abstract. Paper presents determination results of oxygen and carbon distribution coefficients based on data obtained in real processes of mc-Silicon growth. The reasons for the difference between founded experimental values of the distribution coefficients and the
Keywords: distribution coefficients of oxygen and carbon in silicon, multicrystalline silicon.