УДК 621.9.048.7
Ашхотов Олег Газизович,Ашхотова Ирина Борисовна,Крымшокалова Джульетта Абугалиевна,,,,
Исследования окисления поликристаллического алюминия в сверхвысоком вакууме
Ashkhotov O. G., Ashkhotova I. B., Krymshokalova D. A.
INVESTIGATION OF OXIDIZED POLYCRYSTALLINE ALUMINUM IN ULTRAHIGH VACUUM
Аннотация. Рассмотрены проблемы, связанные с получением атомарно-чистой поверхности поликристаллического алюминия, его типичные электронные оже-спектры, а также влияние кислорода остаточной вакуумной среды и электронного зонда на поверхностные характеристики алюмини
Ключевые слова: окисление, вакуум, адсорбция, алюминий, оже-спектр, анализ, оксид, слой.
Abstract. The problems associated with obtaining an atomically clean surface of polycrystalline aluminum, its typical Auger electron spectra, as well as the influence of residual oxygen of ultra-high vacuum environment and the electron beam on the surface state of
Keywords: oxidation, vacuum, adsorption, aluminium, Auger spectrum, the analysis, oxide, layer.