Пастух Игорь Маркович,Соколова Галина Николаевна,Люховец Владимир Васильевич,Здыбель Александр Станиславович,,,
Теоретические основы процесса безводородного азотирования в тлеющем разряде
Аннотация. Систематизированы процессы, происходящие при вакуумно-диффузионной обработке металлических поверхностей в тлеющем разряде, проанализированы известные модели процесса азотирования в тлеющем разряде.
Ключевые слова: азотирование, тлеющий разряд, модель, поверхность.