Рейтинг пользователей: / 0
ХудшийЛучший 

УДК 621.446

Зори А.А., Чичикало Н.И., Баев Р.Н.

ОЦЕНКА ПОГРЕШНОСТЕЙ ПРИБОРА ИЗМЕРЕНИЯ ПАРАМЕТРОВ МИКРОКЛИМАТА В ПРОИЗВОДСТВЕ ИНТЕГРАЛЬНЫХ МИКРОСХЕМ

Донецкий национальный технический университет

 

В докладе, в системе виртуального моделирования LabView разработана методика оценки погрешностей измерения температуры в помещении при производстве интегральных микросхем. Методика позволяет оценить суммарную погрешность измерительного канала температуры в помещении в каждой точке измеряемого диапазона.

Ключевые слова: погрешность, моделирование, синфазный сигнал, нелинейность, измерительный канал температуры.

A report in the system of LabView virtual simulation methods developed estimates errors of the room temperature in the production of integrated circuits. Methodology allows estimate the total error of the measuring channel of the room temperature at each point of the measuring range.

Key words: error, simulation, common-mode signal, nonlinearity, temperature measurement channel.

Актуальность. При производстве интегральных микросхем (ИМС) одним из основных параметров, влияющих на их качество, является непрерывное поддержание температуры и влажности воздуха в технологическом помещении с высокой точностью.

ЧИТАТЬ ВЕСЬ ТЕКСТ >>>

 
Секции-декабрь 2011
КОНФЕРЕНЦИЯ:
  • "Современные проблемы и пути их решения в науке, транспорте, производстве и образовании'2011"
  • Дата: Октябрь 2011 года
  • Проведение: www.sworld.com.ua
  • Рабочие языки: Украинский, Русский, Английский.
  • Председатель: Доктор технических наук, проф.Шибаев А.Г.
  • Тех.менеджмент: к.т.н. Куприенко С.В., Федорова А.Д.

ОПУБЛИКОВАНО В:
  • Сборник научных трудов SWorld по материалам международной научно-практической конференции.