УДК 621.446
Зори А.А., Чичикало Н.И., Баев Р.Н.
ОЦЕНКА ПОГРЕШНОСТЕЙ ПРИБОРА ИЗМЕРЕНИЯ ПАРАМЕТРОВ МИКРОКЛИМАТА В ПРОИЗВОДСТВЕ ИНТЕГРАЛЬНЫХ МИКРОСХЕМ
Донецкий национальный технический университет
В докладе, в системе виртуального моделирования LabView разработана методика оценки погрешностей измерения температуры в помещении при производстве интегральных микросхем. Методика позволяет оценить суммарную погрешность измерительного канала температуры в помещении в каждой точке измеряемого диапазона.
Ключевые слова: погрешность, моделирование, синфазный сигнал, нелинейность, измерительный канал температуры.
A report in the system of LabView virtual simulation methods developed estimates errors of the room temperature in the production of integrated circuits. Methodology allows estimate the total error of the measuring channel of the room temperature at each point of the measuring range.
Key words: error, simulation, common-mode signal, nonlinearity, temperature measurement channel.
Актуальность. При производстве интегральных микросхем (ИМС) одним из основных параметров, влияющих на их качество, является непрерывное поддержание температуры и влажности воздуха в технологическом помещении с высокой точностью.